Блинов И. Г. Иван Григорьевич & Кожитов Л. В. Лев Васильевич. (1986). Оборудование полупроводникового производства: учебное пособие для вузов. Москва, Машиностроение, 1986.
Chicago Style (17th ed.) CitationБлинов И. Г. Иван Григорьевич and Кожитов Л. В. Лев Васильевич. Оборудование полупроводникового производства: учебное пособие для вузов. Москва, Машиностроение, 1986, 1986.
MLA (9th ed.) CitationБлинов И. Г. Иван Григорьевич and Кожитов Л. В. Лев Васильевич. Оборудование полупроводникового производства: учебное пособие для вузов. Москва, Машиностроение, 1986, 1986.
Warning: These citations may not always be 100% accurate.