Моделирование и расчет элементов и устройств технологического оборудования микроэлектроники, сборник научных трудов
| Corporate Author: | |
|---|---|
| Published: |
Москва, Изд-во МИЭТ, 1985
|
| Subjects: | |
| Format: | Book |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=266981 |
| Physical Description: | 120 с. ил. |
|---|