Моделирование и расчет элементов и устройств технологического оборудования микроэлектроники, сборник научных трудов

Bibliographic Details
Corporate Author:	Московский государственный институт электронной техники (МИЭТ)
Published:	Москва, Изд-во МИЭТ, 1985
Subjects:	технологическое оборудование компоненты элементы моделирование расчет роботы координатные столы реакционные камеры проектирование
Format:	Book
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=266981

Similar Items