Моделирование и расчет элементов и устройств технологического оборудования микроэлектроники: сборник научных трудов

Podrobná bibliografie
Korporativní autor:	Московский государственный институт электронной техники (МИЭТ)
Jazyk:	ruština
Vydáno:	Москва, Изд-во МИЭТ, 1985
Témata:	Микроэлектроника технологическое оборудование компоненты элементы моделирование расчет роботы координатные столы реакционные камеры проектирование
Médium:	Kniha
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=266981

Podobné jednotky