Московский государственный институт электронной техники (МИЭТ). (1985). Моделирование и расчет элементов и устройств технологического оборудования микроэлектроники: сборник научных трудов. Москва, Изд-во МИЭТ, 1985.
Cita Chicago Style (17a ed.)Московский государственный институт электронной техники (МИЭТ). Моделирование и расчет элементов и устройств технологического оборудования микроэлектроники: сборник научных трудов. Москва, Изд-во МИЭТ, 1985, 1985.
Cita MLA (9a ed.)Московский государственный институт электронной техники (МИЭТ). Моделирование и расчет элементов и устройств технологического оборудования микроэлектроники: сборник научных трудов. Москва, Изд-во МИЭТ, 1985, 1985.
Precaución: Estas citas no son 100% exactas.