|
|
|
|
| LEADER |
00000nam0a2200000 4500 |
| 001 |
265217 |
| 005 |
20231101233912.0 |
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\book\288218
|
| 090 |
|
|
|a 265217
|
| 100 |
|
|
|a 20140625d1971 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 105 |
|
|
|a a z 001zy
|
| 200 |
1 |
|
|a Эпитаксиальные пленки
|f Л. С. Палатник, И. И. Папиров
|
| 210 |
|
|
|a Москва
|c Наука
|d 1971
|
| 215 |
|
|
|a 480 с.
|c ил.
|
| 320 |
|
|
|a Библиогр.: с. 450-480.
|
| 606 |
1 |
|
|a Пленки эпитаксиальные
|x Получение
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\subj\49240
|9 68041
|
| 610 |
1 |
|
|a рост
|
| 610 |
1 |
|
|a кремний
|
| 610 |
1 |
|
|a легирование
|
| 610 |
1 |
|
|a германий
|
| 610 |
1 |
|
|a наращивание
|
| 610 |
1 |
|
|a кристаллизация
|
| 610 |
1 |
|
|a полупроводниковые соединения
|
| 610 |
1 |
|
|a эпитаксия
|
| 610 |
1 |
|
|a соединения
|
| 675 |
|
|
|a 539.23
|v 3
|
| 700 |
|
1 |
|a Палатник
|b Л. С.
|g Лев Самойлович
|
| 701 |
|
1 |
|a Папиров
|b И. И.
|g Игорь Исакович
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20140625
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20150205
|g RCR
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
