Эпитаксиальные пленки

Библиографические подробности
Главный автор:	Палатник Л. С. Лев Самойлович
Другие авторы:	Папиров И. И. Игорь Исакович
Язык:	русский
Опубликовано:	Москва, Наука, 1971
Предметы:	Пленки эпитаксиальные > Получение рост кремний легирование германий наращивание кристаллизация полупроводниковые соединения эпитаксия соединения
Формат:	Книга
Запись в KOHA:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=265217

Описание
Объем:	480 с. ил.

Схожие документы