|
|
|
|
| LEADER |
00000nam0a2200000 4500 |
| 001 |
263013 |
| 005 |
20231101233714.0 |
| 010 |
|
|
|a 5256001396
|
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\book\285997
|
| 090 |
|
|
|a 263013
|
| 100 |
|
|
|a 20140605d1988 km y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 105 |
|
|
|a a z 001zy
|
| 200 |
1 |
|
|a Обработка монокристаллов в микроэлектронике
|f В. И. Карбань, Ю. И. Борзаков
|
| 210 |
|
|
|a Москва
|c Радио и связь
|d 1988
|
| 215 |
|
|
|a 104 с.
|c ил.
|
| 225 |
1 |
|
|a Массовая библиотека инженера "Электроника"
|
| 320 |
|
|
|a Библиогр.: с. 96-102.
|
| 606 |
1 |
|
|a Микроэлектроника
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\subj\43811
|9 63253
|
| 610 |
1 |
|
|a монокристаллы
|
| 610 |
1 |
|
|a обработка
|
| 610 |
1 |
|
|a инструменты
|
| 610 |
1 |
|
|a оборудование
|
| 610 |
1 |
|
|a абразивы
|
| 610 |
1 |
|
|a обрабатываемые поверхности
|
| 610 |
1 |
|
|a жидкость
|
| 610 |
1 |
|
|a поверхностный слой
|
| 610 |
1 |
|
|a анизотропная обрабатываемость
|
| 610 |
1 |
|
|a полупроводниковые приборы
|
| 675 |
|
|
|a 621.382.049.77
|v 3
|
| 700 |
|
1 |
|a Карбань
|b В. И.
|g Валерий Иванович
|
| 701 |
|
1 |
|a Борзаков
|b Ю. И.
|g Юрий Иванович
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20140605
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20150506
|g RCR
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
