Обработка монокристаллов в микроэлектронике

מידע ביבליוגרפי
מחבר ראשי:	Карбань В. И. Валерий Иванович
מחברים אחרים:	Борзаков Ю. И. Юрий Иванович
שפה:	רוסית
יצא לאור:	Москва, Радио и связь, 1988
סדרה:	Массовая библиотека инженера "Электроника"
נושאים:	Микроэлектроника монокристаллы обработка инструменты оборудование абразивы обрабатываемые поверхности жидкость поверхностный слой анизотропная обрабатываемость полупроводниковые приборы
פורמט:	ספר
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=263013

פריטים דומים