Физические принципы осаждения из газовой фазы аморфных, нанокристаллических и микрокристаллических пленок алмазоподобного углерода и карбида кремния, автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора физико-математических наук
| Tác giả chính: | |
|---|---|
| Tác giả của công ty: | |
| Tác giả khác: | |
| Tóm tắt: | Защита сост. 24.04.2014 г. |
| Được phát hành: |
Нальчик, 2013
|
| Những chủ đề: | |
| Định dạng: | Sách |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=262742 |