Физические принципы осаждения из газовой фазы аморфных, нанокристаллических и микрокристаллических пленок алмазоподобного углерода и карбида кремния, автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора физико-математических наук Спец. 01.04.07

Bibliografski detalji
Glavni autor:	Тарала В. А. Виталий Алексеевич
Autor kompanije:	Российская академия наук (РАН) Южный научный центр (ЮНЦ)
Daljnji autori:	Синельников Б. М. Борис Михайлович (727)
Sažetak:	Защита сост. 24.04.2014 г.
Jezik:	ruski
Izdano:	Нальчик, 2013
Teme:	Пленки тонкие > Исследование > (твердые тела) физика аморфные пленки нанокристаллические пленки микрокристаллические пленки алмазоподобный углерод карбид кремния осаждение ИК-спектроскопия теория Френкеля-Родина газовая среда авторефераты диссертаций
Format:	Knjiga
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=262742

Slični predmeti