Физические принципы осаждения из газовой фазы аморфных, нанокристаллических и микрокристаллических пленок алмазоподобного углерода и карбида кремния, автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора физико-математических наук

Схожие документы

• Механизм образования и субструктура конденсированных пленок
  по: Палатник Л. С. Лев Самойлович
  Опубликовано: (Москва, Наука, 1972)
• Fundamentals of Surface and Thin Film Analysis
  по: Feldman L. C. Leonard
  Опубликовано: (New York, North-Holland, 1986)
• Тонкие пленки и их применение материалы II республиканской конференции, Вильнюс, 2-4 декабря 1968 г.
  Опубликовано: (Вильнюс, [Б. и.], 1969)
• Тонкие пленки антимонида индия: получение, свойства, применение монография
  Опубликовано: (Кишинев, Штиинца, 1989)
• Формирование тонких пленок учебное пособие
  по: Кирсанова Т. С. Татьяна Сергеевна
  Опубликовано: (Ленинград, Изд-во ЛПИ, 1983)