Физические принципы осаждения из газовой фазы аморфных, нанокристаллических и микрокристаллических пленок алмазоподобного углерода и карбида кремния, автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора физико-математических наук

Bibliographic Details
Main Author:	Тарала В. А. Виталий Алексеевич
Corporate Author:	Российская академия наук (РАН) Южный научный центр (ЮНЦ)
Other Authors:	Синельников Б. М. Борис Михайлович (727)
Summary:	Защита сост. 24.04.2014 г.
Published:	Нальчик, 2013
Subjects:	физика аморфные пленки нанокристаллические пленки микрокристаллические пленки алмазоподобный углерод карбид кремния осаждение ИК-спектроскопия теория Френкеля-Родина газовая среда авторефераты диссертаций
Format:	Book
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=262742

Similar Items