|
|
|
|
| LEADER |
00000nam0a2200000 4500 |
| 001 |
26247 |
| 005 |
20231030201531.0 |
| 010 |
|
|
|a 5020069817
|
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\book\26489
|
| 035 |
|
|
|a BOOK00026564
|
| 090 |
|
|
|a 26247
|
| 100 |
|
|
|a 20011209d1993 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 105 |
|
|
|a a z 000zy
|
| 200 |
1 |
|
|a Диагностика микроэлектронных структур
|f Физико-технологический институт; под ред. А. М. Афанасьева
|
| 210 |
|
|
|a Москва
|c Наука
|d 1993
|
| 215 |
|
|
|a 110 с.
|c ил.
|
| 225 |
1 |
|
|a Труды физико-технологического института
|v Т. 5
|
| 610 |
1 |
|
|a электроника
|
| 610 |
1 |
|
|a микроэлектроника
|
| 610 |
1 |
|
|a интегральные схемы
|
| 610 |
1 |
|
|a техническая диагностика
|
| 610 |
1 |
|
|a СБИС
|
| 610 |
1 |
|
|a элементы
|
| 610 |
1 |
|
|a рентгеновская дифракция
|
| 610 |
1 |
|
|a электронная микроскопия
|
| 610 |
1 |
|
|a труды
|
| 675 |
|
|
|a 621.382.049.77
|v 3
|
| 702 |
|
1 |
|a Афанасьев
|b А. М.
|4 340
|
| 712 |
0 |
2 |
|a Физико-технологический институт
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\col\107
|
| 801 |
|
0 |
|a RU
|b 63413507
|c 20011209
|g PSBO
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20071119
|g PSBO
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
