Поверхностное легирование кремния атомами бора методом ядер отдачи

Библиографические подробности
Источник:Международная конференция "Радиационно-термические эффекты и процессы в неорганических материалах", 22-25 сентября 1998 г., г. Томск: тезисы докладов/ Томский политехнический университет. С. 201-202.— , 1998
Другие авторы: Войцеховский А. В., Коротаев А. Г., Коханенко А. П., Грушин И. И., Опекунов М. С., Ремнев Г. Е. Геннадий Ефимович
Язык:русский
Опубликовано: 1998
Предметы:
Формат: Статья
Запись в KOHA:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=261710

Схожие документы