Поверхностное легирование кремния атомами бора методом ядер отдачи

Dades bibliogràfiques
Parent link:	Международная конференция "Радиационно-термические эффекты и процессы в неорганических материалах", 22-25 сентября 1998 г., г. Томск: тезисы докладов/ Томский политехнический университет. С. 201-202.— , 1998
Altres autors:	Войцеховский А. В., Коротаев А. Г., Коханенко А. П., Грушин И. И., Опекунов М. С., Ремнев Г. Е. Геннадий Ефимович
Idioma:	rus
Publicat:	1998
Matèries:	труды учёных ТПУ
Format:	Capítol de llibre
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=261710

Ítems similars