Поверхностное легирование кремния атомами бора методом ядер отдачи; Международная конференция "Радиационно-термические эффекты и процессы в неорганических материалах", 22-25 сентября 1998 г., г. Томск

Поверхностное легирование кремния атомами бора методом ядер отдачи; Международная конференция "Радиационно-термические эффекты и процессы в неорганических материалах", 22-25 сентября 1998 г., г. Томск

Bibliographic Details
Parent link:Международная конференция "Радиационно-термические эффекты и процессы в неорганических материалах", 22-25 сентября 1998 г., г. Томск.— 1998.— С. 201-202
Other Authors: Войцеховский А. В., Коротаев А. Г., Коханенко А. П., Грушин И. И., Опекунов М. С., Ремнев Г. Е. Геннадий Ефимович
Language:Russian
Published: 1998
Subjects:
труды учёных ТПУ
Format: Book Chapter
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=261710

Similar Items