Поверхностное легирование кремния атомами бора методом ядер отдачи; Международная конференция "Радиационно-термические эффекты и процессы в неорганических материалах", 22-25 сентября 1998 г., г. Томск

Detalhes bibliográficos
Parent link:	Международная конференция "Радиационно-термические эффекты и процессы в неорганических материалах", 22-25 сентября 1998 г., г. Томск.— 1998.— С. 201-202
Outros Autores:	Войцеховский А. В., Коротаев А. Г., Коханенко А. П., Грушин И. И., Опекунов М. С., Ремнев Г. Е. Геннадий Ефимович
Idioma:	russo
Publicado em:	1998
Assuntos:	труды учёных ТПУ
Formato:	MixedMaterials Capítulo de Livro
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=261710

MARC


LEADER	00000naa2a2200000 4500
001	261710
005	20231031221742.0
035			\|a (RuTPU)RU\TPU\book\284691
035			\|a RU\TPU\book\284686
090			\|a 261710
100			\|a 20140526d1998 k y0rusy50 ca
101	0		\|a rus
102			\|a RU
200	1		\|a Поверхностное легирование кремния атомами бора методом ядер отдачи \|f А. В. Войцеховский [и др.]
463		1	\|0 (RuTPU)RU\TPU\book\8059 \|t Международная конференция "Радиационно-термические эффекты и процессы в неорганических материалах", 22-25 сентября 1998 г., г. Томск \|o тезисы докладов \|f Томский политехнический университет \|v С. 201-202 \|d 1998 \|p 210 с.
610	1		\|a труды учёных ТПУ
701		1	\|a Войцеховский \|b А. В.
701		1	\|a Коротаев \|b А. Г.
701		1	\|a Коханенко \|b А. П.
701		1	\|a Грушин \|b И. И.
701		1	\|a Опекунов \|b М. С.
701		1	\|a Ремнев \|b Г. Е. \|c физик \|c профессор Томского политехнического университета, доктор технических наук \|f 1948- \|g Геннадий Ефимович \|2 stltpush \|3 (RuTPU)RU\TPU\pers\22004
801		1	\|a RU \|b 63413507 \|c 20021017 \|g PSBO
801		2	\|a RU \|b 63413507 \|c 20150609 \|g PSBO
942			\|c BK