Поверхностное легирование кремния атомами бора методом ядер отдачи
| Parent link: | Международная конференция "Радиационно-термические эффекты и процессы в неорганических материалах", 22-25 сентября 1998 г., г. Томск: тезисы докладов/ Томский политехнический университет. С. 201-202.— , 1998 |
|---|---|
| Autres auteurs: | , , , , , |
| Langue: | russe |
| Publié: |
1998
|
| Sujets: | |
| Format: | Chapitre de livre |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=261710 |
| Aucune description n'est disponible. |