|
|
|
|
| LEADER |
00000nam0a2200000 4500 |
| 001 |
260891 |
| 005 |
20231101233521.0 |
| 010 |
|
|
|a 5120093337
|
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\book\283862
|
| 090 |
|
|
|a 260891
|
| 100 |
|
|
|a 20140519d1988 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a UA
|
| 105 |
|
|
|a a z 001zy
|
| 200 |
1 |
|
|a Математическое моделирование процессов выращивания кристаллических полупроводниковых материалов
|f А. Е. Степанов, Л. Г. Кириллова
|g Академия наук Украинской ССР (АН УССР), Институт проблем моделирования в энергетике (ИПМЭ)
|
| 210 |
|
|
|a Киев
|c Наукова думка
|d 1988
|
| 215 |
|
|
|a 184 с.
|c ил.
|
| 320 |
|
|
|a Библиогр.: с. 176-182.
|
| 606 |
1 |
|
|a Полупроводники
|x Кристаллы
|x Рост
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\subj\50566
|9 69219
|
| 610 |
1 |
|
|a математические основы
|
| 610 |
1 |
|
|a модели
|
| 610 |
1 |
|
|a алгоритмы
|
| 610 |
1 |
|
|a жидкостная эпитаксия
|
| 610 |
1 |
|
|a монокристаллы
|
| 610 |
1 |
|
|a выращивание
|
| 610 |
1 |
|
|a моделирование
|
| 675 |
|
|
|a 621.315.592.002
|v 3
|
| 700 |
|
1 |
|a Степанов
|b А. Е.
|g Аркадий Евгеньевич
|
| 701 |
|
1 |
|a Кириллова
|b Л. Г.
|g Лариса Генриховна
|
| 712 |
0 |
2 |
|a Академия наук Украинской ССР (АН УССР)
|b Институт проблем моделирования в энергетике (ИПМЭ)
|c (Киев)
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\col\7445
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20140519
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20150320
|g RCR
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
