Особенности абразивной и химической обработки поверхности полупроводников: Монография

Chi tiết về thư mục
Tác giả chính:	Перевощиков В. А. Виктор Александрович
Tác giả khác:	Скупов В. Д. Владимир Дмитриевич
Ngôn ngữ:	Tiếng Nga
Được phát hành:	Нижний Новгород, Изд-во ННГУ, 1992
Những chủ đề:	полупроводники абразивная обработка химическая обработка поверхность монографии
Định dạng:	Sách
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=26068

MARC


LEADER	00000n m0a2200000 4500
001	26068
005	20231030201438.0
010			\|a 523004179X
035			\|a (RuTPU)RU\TPU\book\26308
035			\|a BOOK00000225
090			\|a 26068
100			\|a 20011209d1992 k y0rusy50 ca
101	0		\|a rus
102			\|a RU
105			\|a а z 001zy
200	1		\|a Особенности абразивной и химической обработки поверхности полупроводников \|e Монография \|f В. А. Перевощиков, В. Д. Скупов
210			\|a Нижний Новгород \|c Изд-во ННГУ \|d 1992
215			\|a 195 с. \|c ил.
320			\|a Библиогр.: с. 189-196 (134 назв.)
610	1		\|a полупроводники
610	1		\|a абразивная обработка
610	1		\|a химическая обработка
610	1		\|a поверхность
610	1		\|a монографии
675			\|a 621.315.592.002 \|v 3
700		1	\|a Перевощиков \|b В. А. \|g Виктор Александрович
701		1	\|a Скупов \|b В. Д. \|g Владимир Дмитриевич
801		0	\|a RU \|b 63413507 \|c 20011209 \|g PSBO
801		2	\|a RU \|b 63413507 \|c 20090716 \|g PSBO
942			\|c BK