Особенности абразивной и химической обработки поверхности полупроводников: Монография
| Main Author: | |
|---|---|
| Other Authors: | |
| Language: | Russian |
| Published: |
Нижний Новгород, Изд-во ННГУ, 1992
|
| Subjects: | |
| Format: | Book |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=26068 |