Особенности абразивной и химической обработки поверхности полупроводников: Монография
| Glavni autor: | |
|---|---|
| Daljnji autori: | |
| Jezik: | ruski |
| Izdano: |
Нижний Новгород, Изд-во ННГУ, 1992
|
| Teme: | |
| Format: | Knjiga |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=26068 |
| Opis fizičkog objekta: | 195 с. ил. |
|---|---|
| ISBN: | 523004179X |