Особенности абразивной и химической обработки поверхности полупроводников: Монография

ग्रंथसूची विवरण
मुख्य लेखक:	Перевощиков В. А. Виктор Александрович
अन्य लेखक:	Скупов В. Д. Владимир Дмитриевич
भाषा:	रूसी
प्रकाशित:	Нижний Новгород, Изд-во ННГУ, 1992
विषय:	полупроводники абразивная обработка химическая обработка поверхность монографии
स्वरूप:	पुस्तक
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=26068

विवरण
भौतिक वर्णन:	195 с. ил.
आईएसबीएन:	523004179X

समान संसाधन