|
|
|
|
| LEADER |
00000nam0a2200000 4500 |
| 001 |
259211 |
| 005 |
20231101233351.0 |
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\book\282127
|
| 090 |
|
|
|a 259211
|
| 100 |
|
|
|a 20140506d1987 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 105 |
|
|
|a a z 001zy
|
| 200 |
1 |
|
|a Методические рекомендации по обеспечению параметров воздушной среды при производстве изделий микроэлектроники
|f Всесоюзный научно-исследовательский институт охраны труда (ВНИИОТ) ; сост. Р. Б. Знаменский, В. П. Гутина
|
| 210 |
|
|
|a Ленинград
|c Изд-во ВНИИОТ
|d 1987
|
| 215 |
|
|
|a 70 с.
|c ил.
|
| 320 |
|
|
|a Библиогр.: с. 67-68.
|
| 606 |
1 |
|
|a Микросистемы
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\subj\64466
|9 81360
|
| 610 |
1 |
|
|a микроэлектроника
|
| 610 |
1 |
|
|a изделия
|
| 610 |
1 |
|
|a производство
|
| 610 |
1 |
|
|a воздушная среда
|
| 610 |
1 |
|
|a параметры
|
| 610 |
1 |
|
|a методические рекомендации
|
| 610 |
1 |
|
|a температурный режим
|
| 610 |
1 |
|
|a чистота
|
| 610 |
1 |
|
|a испытание
|
| 610 |
1 |
|
|a наладка
|
| 675 |
|
|
|a 621.382
|v 3
|
| 702 |
|
1 |
|a Знаменский
|b Р. Б.
|4 220
|
| 702 |
|
1 |
|a Гутина
|b В. П.
|4 220
|
| 712 |
0 |
2 |
|a Всесоюзный научно-исследовательский институт охраны труда (ВНИИОТ)
|c (Москва)
|c (1933-1960)
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\col\9305
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20140506
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20160401
|g RCR
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
