Методические рекомендации по обеспечению параметров воздушной среды при производстве изделий микроэлектроники

Методические рекомендации по обеспечению параметров воздушной среды при производстве изделий микроэлектроники

Bibliographic Details
Corporate Author: Всесоюзный научно-исследовательский институт охраны труда (ВНИИОТ)
Other Authors: Знаменский Р. Б. (составитель), Гутина В. П.
Language:Russian
Published: Ленинград, Изд-во ВНИИОТ, 1987
Subjects:
Микросистемы
микроэлектроника
изделия
производство
воздушная среда
параметры
методические рекомендации
температурный режим
чистота
испытание
наладка
Format: Book
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=259211

Similar Items