Получение эпитаксиальных структур кремния с контролируемым примесным профилем
| Autor principal: | |
|---|---|
| Idioma: | rus |
| Publicat: |
Ташкент, Фан, 1989
|
| Matèries: | |
| Format: | Llibre |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=253699 |