Получение эпитаксиальных структур кремния с контролируемым примесным профилем
| Main Author: | |
|---|---|
| Corporate Author: | |
| Published: |
Ташкент, Фан, 1989
|
| Subjects: | |
| Format: | Book |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=253699 |