Получение эпитаксиальных структур кремния с контролируемым примесным профилем
| Autor Principal: | |
|---|---|
| Autor Corporativo: | |
| Idioma: | ruso |
| Publicado: |
Ташкент, Фан, 1989
|
| Subjects: | |
| Formato: | Libro |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=253699 |