Получение эпитаксиальных структур кремния с контролируемым примесным профилем

Получение эпитаксиальных структур кремния с контролируемым примесным профилем

Podrobná bibliografie
Hlavní autor: Харченко В. В. Валерий Владимирович
Korporativní autor: Академия наук Узбекской ССР (АН УзССР)
Jazyk:ruština
Vydáno: Ташкент, Фан, 1989
Témata:
Кремний > Физические основы
примеси
эпитаксиальные структуры
диффузионные модели
автолегирование
осаждение
кинетика
получение
классификация
практическая реализация
Médium: MixedMaterials Kniha
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=253699

Podobné jednotky