|
|
|
|
| LEADER |
00000nam0a2200000 4500 |
| 001 |
253699 |
| 005 |
20231101232852.0 |
| 010 |
|
|
|a 5648003900
|
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\book\276108
|
| 090 |
|
|
|a 253699
|
| 100 |
|
|
|a 20140315d1989 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a UZ
|
| 105 |
|
|
|a a z 001zy
|
| 200 |
1 |
|
|a Получение эпитаксиальных структур кремния с контролируемым примесным профилем
|f В. В. Харченко
|g Академия наук Узбекской ССР (АН УзССР)
|
| 210 |
|
|
|a Ташкент
|c Фан
|d 1989
|
| 215 |
|
|
|a 168 с.
|c ил.
|
| 320 |
|
|
|a Библиогр.: с.157-166(180 назв.).
|
| 606 |
1 |
|
|a Кремний
|x Физические основы
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\subj\16161
|9 42331
|
| 610 |
1 |
|
|a примеси
|
| 610 |
1 |
|
|a эпитаксиальные структуры
|
| 610 |
1 |
|
|a диффузионные модели
|
| 610 |
1 |
|
|a автолегирование
|
| 610 |
1 |
|
|a осаждение
|
| 610 |
1 |
|
|a кинетика
|
| 610 |
1 |
|
|a получение
|
| 610 |
1 |
|
|a классификация
|
| 610 |
1 |
|
|a практическая реализация
|
| 675 |
|
|
|a 621.315.592-416
|v 3
|
| 700 |
|
1 |
|a Харченко
|b В. В.
|g Валерий Владимирович
|
| 712 |
0 |
2 |
|a Академия наук Узбекской ССР (АН УзССР)
|c (Ташкент)
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\col\1343
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20140315
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20140516
|g RCR
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
