Харченко В. В. Валерий Владимирович. (1989). Получение эпитаксиальных структур кремния с контролируемым примесным профилем. Ташкент, Фан, 1989.
Chicago Style (17th ed.) CitationХарченко В. В. Валерий Владимирович. Получение эпитаксиальных структур кремния с контролируемым примесным профилем. Ташкент, Фан, 1989, 1989.
MLA (9th ed.) CitationХарченко В. В. Валерий Владимирович. Получение эпитаксиальных структур кремния с контролируемым примесным профилем. Ташкент, Фан, 1989, 1989.
Warning: These citations may not always be 100% accurate.