|
|
|
|
| LEADER |
00000naa2a2200000 4500 |
| 001 |
252963 |
| 005 |
20231031214125.0 |
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\book\275330
|
| 035 |
|
|
|a RU\TPU\book\275328
|
| 090 |
|
|
|a 252963
|
| 100 |
|
|
|a 20140306d2012 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 200 |
1 |
|
|a Влияние высокотемпературного отжига и обработка в кислородной плазме на свойства тонких пленок оксида галлия
|f В. В. Вишникина
|g науч. рук. В. М. Калыгина
|
| 225 |
1 |
|
|a Силовая электроника. Приборостроение
|
| 463 |
|
1 |
|0 (RuTPU)RU\TPU\book\269457
|t Электронные приборы, системы и технологии
|o сборник научных трудов II Всероссийской научно-практической конференции студентов, аспирантов и молодых ученых, Томск, 22-27 октября 2012 г.
|f Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ)
|v C. 37-38
|d 2012
|p 151 с.
|
| 610 |
1 |
|
|a высокотемпературный отжиг
|
| 610 |
1 |
|
|a обработка
|
| 610 |
1 |
|
|a кислородная плазма
|
| 610 |
1 |
|
|a тонкие пленки
|
| 610 |
1 |
|
|a оксид галлия
|
| 700 |
|
1 |
|a Вишникина
|b В. В.
|
| 702 |
|
1 |
|a Калыгина
|b В. М.
|4 727
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20140227
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20140306
|g RCR
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
