Влияние высокотемпературного отжига и обработка в кислородной плазме на свойства тонких пленок оксида галлия
| Parent link: | Электронные приборы, системы и технологии.— 2012.— C. 37-38 |
|---|---|
| Main Author: | |
| Other Authors: | |
| Language: | Russian |
| Published: |
2012
|
| Series: | Силовая электроника. Приборостроение |
| Subjects: | |
| Format: | Book Chapter |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=252963 |