Микроинженерия монокристаллического кремния: монография

Бібліографічні деталі
Інші автори:	Балан Н. Н. Никита Николаевич, Васин В. А. Владимир Анатольевич, Ивашов Е. Н. Евгений Николаевич, Степанчиков С. В. Сергей Валентинович
Резюме:	В монографии даётся обзор современного оборудования для выращивания монокристаллического кремния методом Чохральского. Показано состояние работ в области создания такого оборудования; обсуждаются методология проектирования надежных, экологически чистых и виброустойчивых механических модулей ростового оборудования, включающая методики оценки точности позиционирования ведомого звена волновой резьбовой и зубчатой передачи, методики расчета элементов модулей перемещения на привносимый уровень загрязнений в технологический агрегат, методики определения собственных частот и коэффициентов демпфирования виброзащитных модулей ростового оборудования. Монография предназначена для инженерно-технических и научных работников, занимающихся микро- и наноинженерией в электронном машиностроении и может быть рекомендована аспирантам вузов и студентам, обучающимся по специальности 210107 - «Электронное машиностроение» и направлению подготовки бакалавров и магистров 210100 - «Электроника и наноэлектроника» профиля «Микро- и наноин-женерия в электронике».
Мова:	Російська
Опубліковано:	Ивантеевка, Изд-во НИИ предельных технологий, 2013
Серія:	Микро- и наноинженерия в электронном машиностроении № 7. Т. 1
Предмети:	Электронное приборостроение монокристаллический кремний выращивание оборудование агрегаты термодинамические процессы волновые модули дефектность виброзащитные модули получение принятие решений информационная поддержка
Формат:	Книга
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=252362