| Summary: | В монографии даётся обзор современного оборудования для выращивания монокристаллического кремния методом Чохральского. Показано состояние работ в области создания такого оборудования; обсуждаются методология проектирования надежных, экологически чистых и виброустойчивых механических модулей ростового оборудования, включающая методики оценки точности позиционирования ведомого звена волновой резьбовой и зубчатой передачи, методики расчета элементов модулей перемещения на привносимый уровень загрязнений в технологический агрегат, методики определения собственных частот и коэффициентов демпфирования виброзащитных модулей ростового оборудования. Монография предназначена для инженерно-технических и научных работников, занимающихся микро- и наноинженерией в электронном машиностроении и может быть рекомендована аспирантам вузов и студентам, обучающимся по специальности 210107 - «Электронное машиностроение» и направлению подготовки бакалавров и магистров 210100 - «Электроника и наноэлектроника» профиля «Микро- и наноин-женерия в электронике». |
|---|
