|
|
|
|
| LEADER |
00000nam0a2200000 4500 |
| 001 |
252362 |
| 005 |
20231101232737.0 |
| 010 |
|
|
|a 9785905872143
|
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\book\274694
|
| 035 |
|
|
|a RU\TPU\book\274692
|
| 090 |
|
|
|a 252362
|
| 100 |
|
|
|a 20140303d2013 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 105 |
|
|
|a a z 001zy
|
| 200 |
1 |
|
|a Микроинженерия монокристаллического кремния
|e монография
|f Н. Н. Балан [и др.]
|
| 210 |
|
|
|a Ивантеевка
|c Изд-во НИИ предельных технологий
|d 2013
|
| 215 |
|
|
|a 193 с.
|c ил.
|
| 225 |
1 |
|
|a Микро- и наноинженерия в электронном машиностроении
|v № 7. Т. 1
|
| 320 |
|
|
|a Библиогр.: с. 162-190.
|
| 330 |
|
|
|a В монографии даётся обзор современного оборудования для выращивания монокристаллического кремния методом Чохральского. Показано состояние работ в области создания такого оборудования; обсуждаются методология проектирования надежных, экологически чистых и виброустойчивых механических модулей ростового оборудования, включающая методики оценки точности позиционирования ведомого звена волновой резьбовой и зубчатой передачи, методики расчета элементов модулей перемещения на привносимый уровень загрязнений в технологический агрегат, методики определения собственных частот и коэффициентов демпфирования виброзащитных модулей ростового оборудования. Монография предназначена для инженерно-технических и научных работников, занимающихся микро- и наноинженерией в электронном машиностроении и может быть рекомендована аспирантам вузов и студентам, обучающимся по специальности 210107 - «Электронное машиностроение» и направлению подготовки бакалавров и магистров 210100 - «Электроника и наноэлектроника» профиля «Микро- и наноин-женерия в электронике».
|
| 606 |
1 |
|
|a Электронное приборостроение
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\subj\20419
|9 45524
|
| 610 |
1 |
|
|a монокристаллический кремний
|
| 610 |
1 |
|
|a выращивание
|
| 610 |
1 |
|
|a оборудование
|
| 610 |
1 |
|
|a агрегаты
|
| 610 |
1 |
|
|a термодинамические процессы
|
| 610 |
1 |
|
|a волновые модули
|
| 610 |
1 |
|
|a дефектность
|
| 610 |
1 |
|
|a виброзащитные модули
|
| 610 |
1 |
|
|a получение
|
| 610 |
1 |
|
|a принятие решений
|
| 610 |
1 |
|
|a информационная поддержка
|
| 675 |
|
|
|a 621.38.002
|v 3
|
| 701 |
|
1 |
|a Балан
|b Н. Н.
|g Никита Николаевич
|
| 701 |
|
1 |
|a Васин
|b В. А.
|g Владимир Анатольевич
|
| 701 |
|
1 |
|a Ивашов
|b Е. Н.
|g Евгений Николаевич
|
| 701 |
|
1 |
|a Степанчиков
|b С. В.
|g Сергей Валентинович
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20140303
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20140306
|g RCR
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
