|
|
|
|
| LEADER |
00000nam0a2200000 4500 |
| 001 |
248925 |
| 005 |
20231101232430.0 |
| 010 |
|
|
|a 5020286400
|
| 020 |
|
|
|a RU
|b 88-90448
|
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\book\270849
|
| 090 |
|
|
|a 248925
|
| 100 |
|
|
|a 20140128d1988 k a0rusy5003 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 105 |
|
|
|a a z 001zy
|
| 200 |
1 |
|
|a Современные проблемы физической химии поверхности полупроводников
|e сборник научных трудов
|f Академия наук СССР (АН СССР), Сибирское отделение (СО), Институт физики полупроводников (ИФП) ; под ред. А, В. Ржанова, С. М. Репинского
|
| 210 |
|
|
|a Новосибирск
|c Наука
|d 1988
|
| 215 |
|
|
|a 239 с.
|c ил.
|
| 320 |
|
|
|a Библиогр.: с. 230-235 (106 назв.)
|
| 606 |
1 |
|
|a Полупроводники
|x Физическая химия
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\subj\50608
|9 69261
|
| 610 |
1 |
|
|a поверхностные свойства
|
| 610 |
1 |
|
|a физико-химические исследования
|
| 610 |
1 |
|
|a поверхностные фазы
|
| 610 |
1 |
|
|a физико-химические процессы
|
| 610 |
1 |
|
|a химическая кинетика
|
| 610 |
1 |
|
|a диэлектрики
|
| 610 |
1 |
|
|a осаждение
|
| 610 |
1 |
|
|a гетерогенные реакции
|
| 610 |
1 |
|
|a ионно-плазменное травление
|
| 675 |
|
|
|a 537.311.322:541
|z rus
|
| 702 |
|
1 |
|a Ржанов
|b А, В.
|4 340
|
| 702 |
|
1 |
|a Репинский
|b С. М.
|4 340
|
| 712 |
0 |
2 |
|a Академия наук СССР (АН СССР)
|b Сибирское отделение (СО)
|b Институт физики полупроводников (ИФП)
|c (Новосибирск)
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\col\11385
|
| 801 |
|
0 |
|a RU
|b RuMRKP
|c 19960705
|g psbo
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20140128
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20140210
|g RCR
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
