Современные проблемы физической химии поверхности полупроводников сборник научных трудов

Современные проблемы физической химии поверхности полупроводников, сборник научных трудов

Bibliographic Details
Corporate Author: Академия наук СССР (АН СССР) Сибирское отделение (СО) Институт физики полупроводников (ИФП)
Other Authors: Ржанов А, В. (340), Репинский С. М.
Published: Новосибирск, Наука, 1988
Subjects:
поверхностные свойства
физико-химические исследования
поверхностные фазы
физико-химические процессы
химическая кинетика
диэлектрики
осаждение
гетерогенные реакции
ионно-плазменное травление
Format: Book
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=248925

Similar Items