Основы фотолитографии учебное пособие

Основы фотолитографии, учебное пособие

Bibliographic Details
Main Author: Гудымович Е. Н. Елена Никифоровна
Corporate Author: Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Институт кибернетики (ИК) Кафедра компьютерных измерительных систем и метрологии (КИСМ)
Other Authors: Гавриленко Н. А. Наталия Айратовна
Summary:Заглавие с титульного экрана
Электронная версия печатной публикации
В пособии изложены основы процессов фотолитографии для производства изделий электронной техники в строгой последовательности химических и физико-химических операций. Дан необходимый теоретический материал, описаны методики проведения практических работ по всему циклу фотолитографии и контроля качества полученного рисунка. Представлен большой объем справочных данных. Используются современные методы исследования, в том числе методы оптимизации и планирования эксперимента. Предназначено для студентов вузов, аспирантов и научных сотрудников, работающих в области полупроводникового материаловедения
Режим доступа: из корпоративной сети ТПУ
Language:Russian
Published: Томск, Изд-во ТПУ, 2013
Subjects:
электронный ресурс
учебные пособия
труды учёных ТПУ
организация производства
фоторезисты
фотохимические реакции
переносы
изображения
особенности
фотошаблоны
подложки
практические аспекты
организация
безопасность
Online Access:http://www.lib.tpu.ru/fulltext2/m/2013/m308.pdf
Format: Electronic Book
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=246602

Similar Items

Similar Items