Основы фотолитографии: учебное пособие

Основы фотолитографии: учебное пособие

Opis bibliograficzny
1. autor:	Гудымович Е. Н. Елена Никифоровна
Korporacja:	Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Институт кибернетики (ИК) Кафедра компьютерных измерительных систем и метрологии (КИСМ)
Kolejni autorzy:	Гавриленко Н. А. Наталия Айратовна
Streszczenie:	Заглавие с титульного экрана Электронная версия печатной публикации В пособии изложены основы процессов фотолитографии для производства изделий электронной техники в строгой последовательности химических и физико-химических операций. Дан необходимый теоретический материал, описаны методики проведения практических работ по всему циклу фотолитографии и контроля качества полученного рисунка. Представлен большой объем справочных данных. Используются современные методы исследования, в том числе методы оптимизации и планирования эксперимента. Предназначено для студентов вузов, аспирантов и научных сотрудников, работающих в области полупроводникового материаловедения AM_TPU_network
Język:	rosyjski
Wydane:	Томск, Изд-во ТПУ, 2013
Hasła przedmiotowe:	Фотолитография электронный ресурс учебные пособия труды учёных ТПУ организация производства фоторезисты фотохимические реакции переносы изображения особенности фотошаблоны подложки практические аспекты организация безопасность
Dostęp online:	http://www.lib.tpu.ru/fulltext2/m/2013/m308.pdf
Format:	Elektroniczne Książka
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=246602

Podobne zapisy

Фото-, электроно- и рентгенорезисты
od: Боков Ю. С. Юрий Сергеевич
Wydane: (Москва, Радио и связь, 1982)

Высокоразрешающая неорганическая фотолитография
od: Гранкин И. М. Илья Михайлович
Wydane: (Киев, Вища школа, 1983)

Введение в фотолитографию
Wydane: (Москва, Энергия, 1977)

Обработка полупроводниковых материалов: учебное пособие для начального профессионального образования
od: Запорожский В. П. Владимир Петрович
Wydane: (Москва, Высшая школа, 1988)

Ч. 1; Микролитография: принципы, методы, материалы
Wydane: (1990)

Литография в производстве интегральных микросхем: учебное пособие для профтехобразования
od: Родионов Ю. А. Юрий Анатольевич
Wydane: (Минск, Дизайн ПРО, 1998)

Технологические основы изготовления интегральных микросхем учебное пособие
od: Терехов А. И.
Wydane: (Иваново, ИГЭУ, 2018)

Оптические основы контактной фотолитографии
od: Березин Г. Н. Геннадий Николаевич
Wydane: (Москва, Радио и связь, 1982)

Химическая обработка и фотолитология в производстве полупроводниковых приборов и микросхем: учебное пособие
od: Мокеев О. К. Олег Константинович
Wydane: (Москва, Высшая школа, 1979)

Печатные платы: конструкции и материалы
od: Медведев А. М.
Wydane: (Москва, Техносфера, 2005)

Основы полупроводниковой микроэлектроники: учебное пособие для среднего профессионально-технического образования
od: Курносов А. И. Анатолий Иванович
Wydane: (Москва, Высшая школа, 1980)

Микроизображения: оптические методы получения и контроля
od: Котлецов Б. Н. Борис Николаевич
Wydane: (Ленинград, Машиностроение, 1985)

Химическая обработка и фотолитография в производстве полупроводниковых приборов и микросхем: учебник
od: Мокеев О. К. Олег Константинович
Wydane: (Москва, Высшая школа, 1985)

Технология полупроводникового производства (программированное пособие): учебное пособие
od: Мокеев О. К. Олег Константинович
Wydane: (Москва, Высшая школа, 1984)

Больше чем метафора монография
od: Ремянникова Д. О.
Wydane: (Пермь, ПГНИУ, 2023)

Фотохимические реакции в аналитической химии
od: Немодрук А. А. Александр Андреевич
Wydane: (Москва, Химия, 1972)

Устройство для изготовления фотошаблонов печатных плат; Приборы и техника эксперимента; № 1
od: Таборов М. В.
Wydane: (2003)

Фотолиз тиоцианатов аммония, бария и олова(II): автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата химических наук; спец. 02.00.04
od: Лукьянова В. А. Валентина Анатольевна
Wydane: (Красноярск, [Б. и.], 1990)

Фоторезисты-диффузанты в полупроводниковой технологии
Wydane: (Ленинград, Наука, 1984)

Фотохимические превращения бактериородопсина
od: Балашов С. П. Сергей Петрович
Wydane: (Москва, Изд-во МГУ, 1985)

Разработка и внедрение методик анализа фоторезистов и других объектов микроэлектроники: заключительный отчет о НИР; тема: х/д 5-23/80
Wydane: (Томск, 1981)

Многослойный печатный монтаж в приборостроении, автоматике и вычислительной технике
Wydane: (Москва, Машиностроение, 1978)

Фотохимический анализ
od: Додин Е. И. Евгений Иванович
Wydane: (Москва, Металлургия, 1979)

Оптическая запись информации: сборник научных трудов
Wydane: (Киев, Наукова думка, 1987)

Связанные процессы тепломассопереноса и эволюция напряжений в диске с включением в условиях воздействия концентрированного потока энергии; Физическая мезомеханика; Т. 16, № 2
od: Чумаков Ю. А. Юрий Александрович
Wydane: (2013)

Метафора и метонимия как основа семантического переноса в английской фразеологии (на материале глагольных фразеологических единиц); Коммуникативные аспекты языка и культуры; Ч. 2
od: Багдасарян А. Т.
Wydane: (2014)

Ослабление лучистой энергии в уравнении переноса излучения для кристаллических облаков; Известия вузов. Физика; Т. 61, № 9 (729)
od: Шефер О. В. Ольга Владимировна
Wydane: (2018)

Полупроводниковые прибры: учебное пособие
od: Городецкий А. Ф. Александр Фомич
Wydane: (Москва, Высшая школа, 1967)

Гибкие автоматизированные производства: управление технологичностью РЭА
od: Войчинский А. М.
Wydane: (Москва, Радио и связь, 1987)

Двухквантовая фотохимия
od: Багдасарьян Х. С. Христофор Степанович
Wydane: (Москва, Наука, 1976)

Технология прроизводства интегральных микросхем: учебное пособие для вузов
od: Черняев В. Н. Владимир Николаевич
Wydane: (Москва, Энергия, 1977)

Основы химической кинетики: учебное пособие
od: Еремин Е. Н. Евгений Николаевич
Wydane: (Москва, Высшая школа, 1976)

Практическая химическая кинетика. Химическая кинетика в задачах с решениями: учебное пособие
Wydane: (Москва, Изд-во МГУ, 2006)

Краткий справочник физико-химических величин
Wydane: (Ленинград, Госхимиздат, 1957)

Photochemical Isomerization of 1 ,2- DI (9-Anthryl) Ethanes and 2H-Aceanthrones
od: Flebring T. Thomas
Wydane: (Goteborg, Vasastadens Bokbinderi, 1985)

Краткий справочник физико-химических величин
Wydane: (Ленинград, Госхимиздат, 1959)

Материалы и устройства для регистрации голограмм: тематический сборник
Wydane: (Ленинград, Изд-во ФТИ, 1986)

Основы фотохимии координационных соединений
od: Крюков А. И. Анатолий Иванович
Wydane: (Киев, Наукова думка, 1990)

Применение фотохимических реакций в волтамперометрии; Теория и практика электроаналитической химии
Wydane: (2010)

Основы химической кинетики: [учебное пособие]
od: Еремин Е. Н. Евгений Николаевич
Wydane: (Москва, Мир, 1979)