Основы фотолитографии: учебное пособие

Основы фотолитографии: учебное пособие

Detalles Bibliográficos
Autor principal: Гудымович Е. Н. Елена Никифоровна
Autor Corporativo: Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Институт кибернетики (ИК) Кафедра компьютерных измерительных систем и метрологии (КИСМ)
Otros Autores: Гавриленко Н. А. Наталия Айратовна
Sumario:Заглавие с титульного экрана
Электронная версия печатной публикации
В пособии изложены основы процессов фотолитографии для производства изделий электронной техники в строгой последовательности химических и физико-химических операций. Дан необходимый теоретический материал, описаны методики проведения практических работ по всему циклу фотолитографии и контроля качества полученного рисунка. Представлен большой объем справочных данных. Используются современные методы исследования, в том числе методы оптимизации и планирования эксперимента. Предназначено для студентов вузов, аспирантов и научных сотрудников, работающих в области полупроводникового материаловедения
AM_TPU_network
Lenguaje:ruso
Publicado: Томск, Изд-во ТПУ, 2013
Materias:
Фотолитография
электронный ресурс
учебные пособия
труды учёных ТПУ
организация производства
фоторезисты
фотохимические реакции
переносы
изображения
особенности
фотошаблоны
подложки
практические аспекты
организация
безопасность
Acceso en línea:http://www.lib.tpu.ru/fulltext2/m/2013/m308.pdf
Formato: Electrónico Libro
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=246602

Ejemplares similares

Ejemplares similares