Основы фотолитографии учебное пособие

Основы фотолитографии, учебное пособие

Bibliographic Details
Main Author:	Гудымович Е. Н. Елена Никифоровна
Corporate Author:	Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Институт кибернетики (ИК) Кафедра компьютерных измерительных систем и метрологии (КИСМ)
Other Authors:	Гавриленко Н. А. Наталия Айратовна
Summary:	Заглавие с титульного экрана Электронная версия печатной публикации В пособии изложены основы процессов фотолитографии для производства изделий электронной техники в строгой последовательности химических и физико-химических операций. Дан необходимый теоретический материал, описаны методики проведения практических работ по всему циклу фотолитографии и контроля качества полученного рисунка. Представлен большой объем справочных данных. Используются современные методы исследования, в том числе методы оптимизации и планирования эксперимента. Предназначено для студентов вузов, аспирантов и научных сотрудников, работающих в области полупроводникового материаловедения Режим доступа: из корпоративной сети ТПУ
Published:	Томск, Изд-во ТПУ, 2013
Subjects:	электронный ресурс учебные пособия труды учёных ТПУ организация производства фоторезисты фотохимические реакции переносы изображения особенности фотошаблоны подложки практические аспекты организация безопасность
Online Access:	http://www.lib.tpu.ru/fulltext2/m/2013/m308.pdf
Format:	Electronic Book
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=246602

Internet

http://www.lib.tpu.ru/fulltext2/m/2013/m308.pdf