Основы фотолитографии: учебное пособие
| Hlavní autor: | |
|---|---|
| Korporativní autor: | |
| Další autoři: | |
| Shrnutí: | Заглавие с титульного экрана Электронная версия печатной публикации В пособии изложены основы процессов фотолитографии для производства изделий электронной техники в строгой последовательности химических и физико-химических операций. Дан необходимый теоретический материал, описаны методики проведения практических работ по всему циклу фотолитографии и контроля качества полученного рисунка. Представлен большой объем справочных данных. Используются современные методы исследования, в том числе методы оптимизации и планирования эксперимента. Предназначено для студентов вузов, аспирантов и научных сотрудников, работающих в области полупроводникового материаловедения AM_TPU_network |
| Jazyk: | ruština |
| Vydáno: |
Томск, Изд-во ТПУ, 2013
|
| Témata: | |
| On-line přístup: | http://www.lib.tpu.ru/fulltext2/m/2013/m308.pdf |
| Médium: | Elektronický zdroj Kniha |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=246602 |
MARC
| LEADER | 00000nam0a2200000 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | 246602 | ||
| 005 | 20260422145613.0 | ||
| 035 | |a (RuTPU)RU\TPU\book\268055 | ||
| 090 | |a 246602 | ||
| 100 | |a 20131206d2013 m y0rusy50 ca | ||
| 101 | 0 | |a rus | |
| 102 | |a RU | ||
| 105 | |a a j 001zy | ||
| 135 | |a drcn ---uucaa | ||
| 181 | 0 | |a i | |
| 182 | 0 | |a b | |
| 200 | 1 | |a Основы фотолитографии |e учебное пособие |f Е. Н. Гудымович, Н. А. Гавриленко |g Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ), Институт кибернетики (ИК), Кафедра компьютерных измерительных систем и метрологии (КИСМ) | |
| 203 | |a Текст |c электронный | ||
| 210 | |a Томск |c Изд-во ТПУ |d 2013 | ||
| 300 | |a Заглавие с титульного экрана | ||
| 300 | |a Электронная версия печатной публикации | ||
| 330 | |a В пособии изложены основы процессов фотолитографии для производства изделий электронной техники в строгой последовательности химических и физико-химических операций. Дан необходимый теоретический материал, описаны методики проведения практических работ по всему циклу фотолитографии и контроля качества полученного рисунка. Представлен большой объем справочных данных. Используются современные методы исследования, в том числе методы оптимизации и планирования эксперимента. Предназначено для студентов вузов, аспирантов и научных сотрудников, работающих в области полупроводникового материаловедения | ||
| 371 | 0 | |a AM_TPU_network | |
| 606 | 1 | |a Фотолитография |2 stltpush |3 (RuTPU)RU\TPU\subj\64237 |9 81148 | |
| 610 | 1 | |a электронный ресурс | |
| 610 | 1 | |a учебные пособия | |
| 610 | 1 | |a труды учёных ТПУ | |
| 610 | 1 | |a организация производства | |
| 610 | 1 | |a фоторезисты | |
| 610 | 1 | |a фотохимические реакции | |
| 610 | 1 | |a переносы | |
| 610 | 1 | |a изображения | |
| 610 | 1 | |a особенности | |
| 610 | 1 | |a фотошаблоны | |
| 610 | 1 | |a подложки | |
| 610 | 1 | |a практические аспекты | |
| 610 | 1 | |a фоторезисты | |
| 610 | 1 | |a организация | |
| 610 | 1 | |a безопасность | |
| 675 | |a 621.382.049.77.002 |v 3 | ||
| 700 | 1 | |a Гудымович |b Е. Н. |g Елена Никифоровна | |
| 701 | 1 | |a Гавриленко |b Н. А. |c химик |c доцент Томского политехнического университета, кандидат химических наук |f 1970- |g Наталия Айратовна |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\26438 |9 12142 | |
| 712 | 0 | 2 | |a Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) |b Институт кибернетики (ИК) |b Кафедра компьютерных измерительных систем и метрологии (КИСМ) |3 (RuTPU)RU\TPU\col\18706 |
| 801 | 1 | |a RU |b 63413507 |c 20131206 | |
| 801 | 2 | |a RU |b 63413507 |c 20140211 |g RCR | |
| 856 | 4 | 0 | |u http://www.lib.tpu.ru/fulltext2/m/2013/m308.pdf |z http://www.lib.tpu.ru/fulltext2/m/2013/m308.pdf |
| 942 | |c CF | ||