Свойства пленок оксида танатала, полученных ВЧ магнетронным напылением

Свойства пленок оксида танатала, полученных ВЧ магнетронным напылением

Библиографические подробности
Источник:	Современные техника и технологии: сборник трудов XV Международной научно-практической конференции студентов, аспирантов и молодых ученых, Томск, 4-8 мая 2009 г/ Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ).— , 2009 Т. 2.— 2009.— [С. 99-101]
Главный автор:	Петрова Ю. С.
Другие авторы:	Новиков В. А. (727), Скакунов М. С., Калыгина В. М., Тяжев А. В.
Примечания:	Заглавие с титульного листа Электронная версия печатной публикации
Опубликовано:	2009
Предметы:	электронный ресурс оксид танатала пленки свойства методы получения магнетронное напыление магнетронное распыление стеклянные подложки электрические характеристики кислородная плазма
Online-ссылка:	http://www.lib.tpu.ru/fulltext/c/2009/C01/V2/050.pdf
Формат:	Электронный ресурс Статья
Запись в KOHA:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=245553

Схожие документы

Исследование пленок азотосодержащего оксида титана осажденных магнетронным распылением
по: Сунь Чжилэй
Опубликовано: (2020)

Оптические свойства пленок азотосодержащего оксида титана, осажденных магнетронным распылением
по: Сунь Чжилэй
Опубликовано: (2019)

Физико-механические свойства тонких плёнок оксида титана, полученных методом магнетронного распыления
по: Морозова Н. С. Наталья Сергеевна
Опубликовано: (2009)

Электропроводность тонких плёнок оксида титана, полученных методом среднечастотного магнетронного распыления
по: Морозова Н. С. Наталья Сергеевна
Опубликовано: (2009)

Radiation-induced deposition of transparent conductive tin oxide coatings
по: Umnov S. P. Sergey Pavlovich
Опубликовано: (2016)

Influence irradiation argon ion SnO[2] on optical and electrical characteristics
по: Asainov O. Kh. Oleg Khaydarovich
Опубликовано: (2017)

Смачиваемость поверхности тонких пленок на основе силикатсодержащего гидроксиапатита, полученных методом ВЧ-магнетронного распыления
Опубликовано: (2013)

Оптические свойства пленок ITO
по: Петрюк А. Е.
Опубликовано: (2018)

Влияние температуры отжига и материала промежуточного подслоя на деградацию тонких плёнок CU на кремниевой и поликоровой подложках
по: Лязгин А. О.
Опубликовано: (2009)

Modification of optical and electrical properties of SnO[2] under the influence of argon ion beam
по: Umnov S. P. Sergey Pavlovich
Опубликовано: (2017)

Осаждение плёнок оксида меди при магнетронном распылении в металлическом режиме
по: Воронина Е. Д. Екатерина Дмитриевна
Опубликовано: (2022)

Влияние процесса распыления на структуру ВЧ-магнетронных тонких пленок
по: Шаронова А. А. Анна Александровна
Опубликовано: (2013)

Свойства тонких покрытий оксида титана, полученных методом реактивного магнетронного распыления и перспектива их применения в медицине
по: Гребнева И. А. Ирина Андреевна
Опубликовано: (2009)

Анализ морфологии поверхности и оптических свойств пленок сульфида олова, полученных DC-магнетронным распылением
по: Дронова М. В.
Опубликовано: (2015)

Структура пленок, напыляемых в магнитном поле путем магнетронного распыления
по: Загузин И. Ю.
Опубликовано: (2018)

Investigation of the HA film deposited on the porous Ti6Al4V alloy prepared via additive manufacturing
Опубликовано: (2015)

The effect of Si content on structure and mechanical features of silicon-containing calcium phosphorus-based films deposited by rf-magnetron sputtering on titanium substrate treated by pulsed electron beam
Опубликовано: (2014)

Deposition of the low resistive ITO-films by means of reactive magnetron sputtering of the In/Sn target on the cold substrate
Опубликовано: (2016)

Исследование фазового состава тонких пленок диоксида титана, полученных среднечастотным дуальным магнетронным распылением
по: Сиделёв Д. В. Дмитрий Владимирович
Опубликовано: (2012)

Электрический пробой и электролюминесценция пленок ZnS:Mn, полученных высокочастотным магнетронным распылением автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук
по: Жигальский А. А. Александр Анатольевич
Опубликовано: (Томск, Изд-во ТУСУР, 1997)

Исследование молекулярного и элементного состава покрытий, полученных ВЧ-магнетронным распылением мишени из кремнийзамещённого гидроксиапатита
по: Конищев М. Е. Максим Евгеньевич
Опубликовано: (2009)

Исследование влияния отрицательного смещения подложки на параметры плазмы ВЧ-магнетронного распыления методом двойного зонда Ленгмюра
по: Мухаметкалиев Т. М. Тимур Мухамедрашидович
Опубликовано: (2014)

Выращивание кристаллов: выращивание кристаллических пленок методом магнетронного напыления лабораторный практикум
по: Пархоменко Ю. Н.
Опубликовано: (Москва, МИСИС, 2017)

Исследование структуры покрытий, сформированных ВЧ-магнетронным распылением мишени из кремнийзамещённого гидроксиапатита
по: Грубова И. Ю. Ирина Юрьевна
Опубликовано: (2009)

Физико-механические свойства и структура пленок диоксида и оксинитрида титана, осажденных методом реактивного магнетронного распыления автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук спец. 01.04.07
по: Киселева Е. С. Евгения Сергеевна
Опубликовано: (Томск, [Б. и.], 2016)

Физико-механические характеристики PLLA пленок, модифицированных методом ВЧ-магнетронного распыления
по: Богомолова Н. Н. Наталья Николаевна
Опубликовано: (2014)

Получение тонких пленок реактивным магнетронным распылением
по: Берлин Е. В. Евгений Владимирович
Опубликовано: (Москва, Техносфера, 2014)

Влияние материала подложки и режима ВЧ-магнетронного распыления на структуру и свойства покрытий на основе гидроксиапатита
Опубликовано: (2015)

Cellular automata modeling of microcrystalline structure formation
по: Mikolaychuk M. Mikhail
Опубликовано: (2014)

Свойства тонких пленок сульфидов вольфрама и меди, полученных методом магнетронного распыления
по: Ан В. В. Владимир Вилорьевич
Опубликовано: (2016)

Исследование свойств тонких пленок Ti–O–N, осажденных методом реактивного магнетронного напыления
по: Бойцова Е. Л. Елена Львовна
Опубликовано: (2018)

Solid oxide fuel cell anode surface modification by magnetron sputtering of NiO/YSZ thin film
Опубликовано: (2017)

Зависимость режимов осаждения оксида титана от параметров источника питания МРС
по: Андреева М. А.
Опубликовано: (2016)

Formation of the silicon coating on the NiTi substrate by magnetron sputteringi
по: Luchin A. V.
Опубликовано: (2019)

Деградация тонких плёнок Ti при знакопеременном изгибе
по: Цао Янь
Опубликовано: (2007)

The preparation of calcium phosphate coatings on titanium and nickel-titanium by rf-magnetron-sputtered deposition: Composition, structure and micromechanical properties
Опубликовано: (2008)

Изменение структуры и фазового состава покрытий Si-Al-N, полученных при магнетронном распылении мишеней с разным соотношением Al:Si
Опубликовано: (2013)

Структура и свойства прозрачных проводящих слоев на основе оксида цинка, полученных методом магнетронного распыления нестехиометричных мишеней автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук Спец. 01.04.07
по: Ахмедов А. К. Ахмед Кадиевич
Опубликовано: (Нальчик, [Б. и.], 2016)

High-rate deposition of chromium coatings by magnetron sputtering
Опубликовано: (2019)

Физико-механические характеристики ВЧ-магнетронных покрытий на основе серебросодержащего гидроксиапатита
Опубликовано: (2013)