Свойства пленок оксида танатала, полученных ВЧ магнетронным напылением; Современные техника и технологии; Т. 2

Podrobná bibliografie
Parent link:	Современные техника и технологии: сборник трудов XV Международной научно-практической конференции студентов, аспирантов и молодых ученых, Томск, 4-8 мая 2009 г/ Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ).— , 2009 Т. 2.— 2009.— [С. 99-101]
Hlavní autor:	Петрова Ю. С.
Další autoři:	Новиков В. А. (научный руководитель), Скакунов М. С., Калыгина В. М., Тяжев А. В.
Shrnutí:	Заглавие с титульного листа Электронная версия печатной публикации
Jazyk:	ruština
Vydáno:	2009
Témata:	электронный ресурс оксид танатала пленки свойства методы получения магнетронное напыление магнетронное распыление стеклянные подложки электрические характеристики кислородная плазма
On-line přístup:	http://www.lib.tpu.ru/fulltext/c/2009/C01/V2/050.pdf
Médium:	Elektronický zdroj Kapitola
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=245553

Internet