Свойства пленок оксида танатала, полученных ВЧ магнетронным напылением

Bibliographic Details
Parent link:	Современные техника и технологии: сборник трудов XV Международной научно-практической конференции студентов, аспирантов и молодых ученых, Томск, 4-8 мая 2009 г/ Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ).— , 2009 Т. 2.— 2009.— [С. 99-101]
Main Author:	Петрова Ю. С.
Other Authors:	Новиков В. А. (727), Скакунов М. С., Калыгина В. М., Тяжев А. В.
Summary:	Заглавие с титульного листа Электронная версия печатной публикации
Published:	2009
Subjects:	электронный ресурс оксид танатала пленки свойства методы получения магнетронное напыление магнетронное распыление стеклянные подложки электрические характеристики кислородная плазма
Online Access:	http://www.lib.tpu.ru/fulltext/c/2009/C01/V2/050.pdf
Format:	Electronic Book Chapter
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=245553

Internet