Свойства пленок оксида танатала, полученных ВЧ магнетронным напылением; Современные техника и технологии; Т. 2
| Parent link: | Современные техника и технологии: сборник трудов XV Международной научно-практической конференции студентов, аспирантов и молодых ученых, Томск, 4-8 мая 2009 г/ Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ).— , 2009 Т. 2.— 2009.— [С. 99-101] |
|---|---|
| Autor principal: | |
| Altres autors: | , , , |
| Sumari: | Заглавие с титульного листа Электронная версия печатной публикации |
| Idioma: | rus |
| Publicat: |
2009
|
| Matèries: | |
| Accés en línia: | http://www.lib.tpu.ru/fulltext/c/2009/C01/V2/050.pdf |
| Format: | MixedMaterials Electrònic Capítol de llibre |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=245553 |
MARC
| LEADER | 00000naa2a2200000 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | 245553 | ||
| 005 | 20260114091039.0 | ||
| 035 | |a (RuTPU)RU\TPU\book\266964 | ||
| 035 | |a RU\TPU\book\266959 | ||
| 090 | |a 245553 | ||
| 100 | |a 20131113d2009 k y0rusy50 ca | ||
| 101 | 0 | |a rus | |
| 102 | |a RU | ||
| 135 | |a drnn ---uucaa | ||
| 181 | 0 | |a i | |
| 182 | 0 | |a b | |
| 200 | 1 | |a Свойства пленок оксида танатала, полученных ВЧ магнетронным напылением |f Ю. С. Петрова, В. А. Новиков, М. С. Скакунов |g науч. рук. В. М. Калыгина ; науч. рук. А. В. Тяжев | |
| 203 | |a Текст |c электронный | ||
| 215 | |a 1 файл (920 Кб) | ||
| 300 | |a Заглавие с титульного листа | ||
| 300 | |a Электронная версия печатной публикации | ||
| 337 | |a Adobe Reader | ||
| 461 | 0 | |0 (RuTPU)RU\TPU\book\261117 |t Современные техника и технологии |o сборник трудов XV Международной научно-практической конференции студентов, аспирантов и молодых ученых, Томск, 4-8 мая 2009 г |o в 3 т. |f Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) |d 2009 | |
| 463 | 0 | |0 (RuTPU)RU\TPU\book\266450 |t Т. 2 |v [С. 99-101] |d 2009 | |
| 610 | 1 | |a электронный ресурс | |
| 610 | 1 | |a оксид танатала | |
| 610 | 1 | |a пленки | |
| 610 | 1 | |a свойства | |
| 610 | 1 | |a методы получения | |
| 610 | 1 | |a магнетронное напыление | |
| 610 | 1 | |a магнетронное распыление | |
| 610 | 1 | |a стеклянные подложки | |
| 610 | 1 | |a электрические характеристики | |
| 610 | 1 | |a кислородная плазма | |
| 700 | 1 | |a Петрова |b Ю. С. | |
| 701 | 1 | |a Новиков |b В. А. | |
| 701 | 1 | |a Скакунов |b М. С. | |
| 702 | 1 | |a Калыгина |b В. М. |4 727 | |
| 702 | 1 | |a Тяжев |b А. В. |4 727 | |
| 801 | 1 | |a RU |b 63413507 |c 20130617 | |
| 801 | 2 | |a RU |b 63413507 |c 20131113 |g RCR | |
| 856 | 4 | |u http://www.lib.tpu.ru/fulltext/c/2009/C01/V2/050.pdf | |
| 942 | |c CF | ||