Свойства пленок оксида танатала, полученных ВЧ магнетронным напылением

Dettagli Bibliografici
Parent link:	Современные техника и технологии: сборник трудов XV Международной научно-практической конференции студентов, аспирантов и молодых ученых, Томск, 4-8 мая 2009 г/ Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ).— , 2009 Т. 2.— 2009.— [С. 99-101]
Autore principale:	Петрова Ю. С.
Altri autori:	Новиков В. А. (727), Скакунов М. С., Калыгина В. М., Тяжев А. В.
Riassunto:	Заглавие с титульного листа Электронная версия печатной публикации
Pubblicazione:	2009
Soggetti:	электронный ресурс оксид танатала пленки свойства методы получения магнетронное напыление магнетронное распыление стеклянные подложки электрические характеристики кислородная плазма
Accesso online:	http://www.lib.tpu.ru/fulltext/c/2009/C01/V2/050.pdf
Natura:	Elettronico Capitolo di libro
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=245553

Descrizione
Descrizione fisica:	1 файл (920 Кб)
Riassunto:	Заглавие с титульного листа Электронная версия печатной публикации

Documenti analoghi