Электропроводность тонких плёнок оксида титана, полученных методом среднечастотного магнетронного распыления

Bibliographic Details
Parent link:	Современные техника и технологии: сборник трудов XV Международной научно-практической конференции студентов, аспирантов и молодых ученых, Томск, 4-8 мая 2009 г/ Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ).— , 2009 Т. 2.— 2009.— [С. 86-88]
Main Author:	Морозова Н. С. Наталья Сергеевна
Other Authors:	Цеунов А. П. (727), Ермолович И. М. Игорь Михайлович, Пичугин В. Ф.
Summary:	Заглавие с титульного листа Электронная версия печатной публикации
Published:	2009
Subjects:	электронный ресурс труды учёных ТПУ тонкие пленки оксид титана электропроводность магнетронное распыление поверхностная проводимость
Online Access:	http://www.lib.tpu.ru/fulltext/c/2009/C01/V2/043.pdf
Format:	Electronic Book Chapter
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=245497

Internet