Вакуумная ионно-плазменная обработка: учебное пособие

Dettagli Bibliografici
Altri autori: Ильин А. А. Александр Анатольевич, Плихунов В. В. Виталий Валентинович, Пектров Л. М. Леонид Михайлович, Спектор В. С. Виктор Семенович
Riassunto:Рассматриваются актуальные вопросы формирования потоков газовой и металлической плазмы, равномерность их распределения в рабочем объеме камер вакуумных установок, а также изменения конденсата металлической плазмы при формировании структур и свойств модифицированных поверхностных слоев, однослойных, многослойных, градиентных наноструктурных покрытий при вакуумной ионно-плазменной обработке. Для студентов высших учебных заведений, обучающихся по направлению подготовки магистров 150100 «Материаловедение и технологии материалов».
Lingua:russo
Pubblicazione: Москва, Инфра-М, 2014
Serie:Современные технологии. Магистратура
Soggetti:
Natura: Libro
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=243289
Descrizione
Descrizione fisica:158 с. ил.
Riassunto:Рассматриваются актуальные вопросы формирования потоков газовой и металлической плазмы, равномерность их распределения в рабочем объеме камер вакуумных установок, а также изменения конденсата металлической плазмы при формировании структур и свойств модифицированных поверхностных слоев, однослойных, многослойных, градиентных наноструктурных покрытий при вакуумной ионно-плазменной обработке. Для студентов высших учебных заведений, обучающихся по направлению подготовки магистров 150100 «Материаловедение и технологии материалов».
ISBN:9785982813664
978-5-16-009188-4