Вакуумная ионно-плазменная обработка, учебное пособие

Bibliographic Details
Other Authors: Ильин А. А. Александр Анатольевич, Плихунов В. В. Виталий Валентинович, Пектров Л. М. Леонид Михайлович, Спектор В. С. Виктор Семенович
Summary:Рассматриваются актуальные вопросы формирования потоков газовой и металлической плазмы, равномерность их распределения в рабочем объеме камер вакуумных установок, а также изменения конденсата металлической плазмы при формировании структур и свойств модифицированных поверхностных слоев, однослойных, многослойных, градиентных наноструктурных покрытий при вакуумной ионно-плазменной обработке. Для студентов высших учебных заведений, обучающихся по направлению подготовки магистров 150100 «Материаловедение и технологии материалов».
Published: Москва, Инфра-М, 2014
Series:Современные технологии. Магистратура
Subjects:
Format: Book
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=243289