Динамические характеристики ёмкостной микроэлектромеханической системы

Bibliographic Details
Parent link:	Современные техника и технологии: сборник трудов XV Международной научно-практической конференции студентов, аспирантов и молодых ученых, Томск, 4-8 мая 2009 г/ Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ).— , 2009 Т. 1.— 2009.— [С. 441-442]
Main Author:	Ляпунов Д. Ю. Данил Юрьевич
Other Authors:	Бекишев Р. Ф. (727)
Summary:	Заглавие с титульного листа Электронная версия печатной публикации
Published:	2009
Subjects:	электронный ресурс труды учёных ТПУ электромеханические системы микросистемная техника емкостные аппараты энергоемкость параметры движения микросистемы преобразование энергии емкостные преобразователи тонкие пленки схемы динамические характеристики
Online Access:	http://www.lib.tpu.ru/fulltext/c/2009/C01/V1/221.pdf
Format:	Electronic Book Chapter
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=242940

Internet