|
|
|
|
| LEADER |
00000nbm0a2200000 4500 |
| 001 |
241135 |
| 005 |
20231226105726.0 |
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\book\262401
|
| 035 |
|
|
|a RU\TPU\book\262400
|
| 090 |
|
|
|a 241135
|
| 100 |
|
|
|a 20130703j20130625k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 105 |
|
|
|a a m 001zy
|
| 200 |
1 |
|
|a Осаждение поликристаллических алмазных пленок в аномальном тлеющем разряде
|e диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук
|e спец. 01.04.07
|f С. А. Линник
|g Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) ; науч. рук. Г. Е. Ремнев
|
| 210 |
|
|
|a Томск
|d 2013
|
| 215 |
|
|
|a 103 л.
|c ил.
|
| 300 |
|
|
|a Защищена 25.06.2013 г.
|
| 320 |
|
|
|a Библиогр.: с. 98-103 (109 назв.).
|
| 606 |
1 |
|
|a Алмазы синтетические
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\subj\34700
|
| 610 |
1 |
|
|a поликристаллические алмазные пленки
|
| 610 |
1 |
|
|a свойства
|
| 610 |
1 |
|
|a применение
|
| 610 |
1 |
|
|a синтез
|
| 610 |
1 |
|
|a аномальный тлеющий разряд
|
| 610 |
1 |
|
|a плазма
|
| 610 |
1 |
|
|a оптико-эмиссионная спектроскопия
|
| 610 |
1 |
|
|a осаждение
|
| 610 |
1 |
|
|a диссертации
|
| 610 |
1 |
|
|a труды учёных ТПУ
|
| 675 |
|
|
|a 666.23(04)
|v 3
|
| 686 |
|
|
|a 01.04.07
|2 oksvnk
|
| 700 |
|
1 |
|a Линник
|b С. А.
|c физик
|c инженер-исследователь Томского политехнического университета
|f 1985-
|g Степан Андреевич
|3 (RuTPU)RU\TPU\pers\28210
|9 13164
|
| 702 |
|
1 |
|a Ремнев
|b Г. Е.
|c физик
|c профессор Томского политехнического университета, доктор технических наук
|f 1948-
|g Геннадий Ефимович
|3 (RuTPU)RU\TPU\pers\22004
|4 727
|
| 712 |
0 |
2 |
|a Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ)
|c (2009- )
|3 (RuTPU)RU\TPU\col\15902
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20130703
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20150609
|g RCR
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
