Осаждение поликристаллических алмазных пленок в аномальном тлеющем разряде, диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 01.04.07

Bibliographic Details
Main Author:	Линник С. А. Степан Андреевич
Corporate Author:	Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ)
Other Authors:	Ремнев Г. Е. Геннадий Ефимович (727)
Summary:	Защищена 25.06.2013 г.
Language:	Russian
Published:	Томск, 2013
Subjects:	поликристаллические алмазные пленки свойства применение синтез аномальный тлеющий разряд плазма оптико-эмиссионная спектроскопия осаждение диссертации труды учёных ТПУ
Format:	Book
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=241135

Similar Items