Осаждение поликристаллических алмазных пленок в аномальном тлеющем разряде: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07

Осаждение поликристаллических алмазных пленок в аномальном тлеющем разряде: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07

Opis bibliograficzny
1. autor: Линник С. А. Степан Андреевич
Korporacja: Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ)
Kolejni autorzy: Ремнев Г. Е. Геннадий Ефимович (научный руководитель)
Streszczenie:Защищена 25.06.2013 г.
Język:rosyjski
Wydane: Томск, 2013
Hasła przedmiotowe:
Алмазы синтетические
поликристаллические алмазные пленки
свойства
применение
синтез
аномальный тлеющий разряд
плазма
оптико-эмиссионная спектроскопия
осаждение
диссертации
труды учёных ТПУ
Format: Książka
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=241135
Opis
Opis fizyczny:103 л. ил.
Streszczenie:Защищена 25.06.2013 г.

Podobne zapisy