Осаждение поликристаллических алмазных пленок в аномальном тлеющем разряде, диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 01.04.07

Λεπτομέρειες βιβλιογραφικής εγγραφής
Κύριος συγγραφέας:	Линник С. А. Степан Андреевич
Συγγραφή απο Οργανισμό/Αρχή:	Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ)
Άλλοι συγγραφείς:	Ремнев Г. Е. Геннадий Ефимович (727)
Περίληψη:	Защищена 25.06.2013 г.
Γλώσσα:	Ρωσικά
Έκδοση:	Томск, 2013
Θέματα:	поликристаллические алмазные пленки свойства применение синтез аномальный тлеющий разряд плазма оптико-эмиссионная спектроскопия осаждение диссертации труды учёных ТПУ
Μορφή:	Βιβλίο
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=241135

Περιγραφή
Φυσική περιγραφή:	103 л. ил.
Περίληψη:	Защищена 25.06.2013 г.

Παρόμοια τεκμήρια