Осаждение поликристаллических алмазных пленок в аномальном тлеющем разряде, автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 01.04.07

Bibliografiske detaljer
Hovedforfatter:	Линник С. А. Степан Андреевич
Institution som forfatter:	Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ)
Andre forfattere:	Ремнев Г. Е. Геннадий Ефимович (727)
Summary:	Защита сост. 25.06.2013 г.
Sprog:	russisk
Udgivet:	Томск, 2013
Fag:	поликристаллические алмазные пленки свойства применение синтез аномальный тлеющий разряд плазма оптико-эмиссионная спектроскопия осаждение авторефераты диссертаций труды учёных ТПУ
Format:	Bog
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=241134

Beskrivelse
Fysisk beskrivelse:	24 с. ил.
Summary:	Защита сост. 25.06.2013 г.

Lignende værker