Осаждение поликристаллических алмазных пленок в аномальном тлеющем разряде: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07

Détails bibliographiques
Auteur principal:	Линник С. А. Степан Андреевич
Collectivité auteur:	Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ)
Autres auteurs:	Ремнев Г. Е. Геннадий Ефимович (научный руководитель)
Résumé:	Защита сост. 25.06.2013 г.
Langue:	russe
Publié:	Томск, 2013
Sujets:	Алмазы синтетические поликристаллические алмазные пленки свойства применение синтез аномальный тлеющий разряд плазма оптико-эмиссионная спектроскопия осаждение авторефераты диссертаций труды учёных ТПУ
Format:	Livre
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=241134

Documents similaires