Осаждение поликристаллических алмазных пленок в аномальном тлеющем разряде: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07

التفاصيل البيبلوغرافية
المؤلف الرئيسي:	Линник С. А. Степан Андреевич
مؤلف مشترك:	Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ)
مؤلفون آخرون:	Ремнев Г. Е. Геннадий Ефимович (научный руководитель)
الملخص:	Защита сост. 25.06.2013 г.
اللغة:	الروسية
منشور في:	Томск, 2013
الموضوعات:	Алмазы синтетические поликристаллические алмазные пленки свойства применение синтез аномальный тлеющий разряд плазма оптико-эмиссионная спектроскопия осаждение авторефераты диссертаций труды учёных ТПУ
التنسيق:	كتاب
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=241134

مواد مشابهة