Разработка плазменных технологий и оборудования для осаждения тонкоплёночных теплоотражающих покрытий, диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук

Dettagli Bibliografici
Autore principale:	Баинов Д. Д. Даши Дамбаевич
Ente Autore:	Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ)
Altri autori:	Кривобоков В. П. Валерий Павлович (727)
Riassunto:	Защищена 25.06.2013 г.
Pubblicazione:	Томск, 2013
Soggetti:	осаждение тонкие пленки оптические свойства моделирование расчет технология промышленные установки плазменные установки плазма магнетронный разряд ионные пучки тонкопленочные покрытия диссертации труды учёных ТПУ
Natura:	Libro
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=241130

Descrizione
Descrizione fisica:	153 л. ил.
Riassunto:	Защищена 25.06.2013 г.

Documenti analoghi