Разработка плазменных технологий и оборудования для осаждения тонкоплёночных теплоотражающих покрытий, диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 01.04.07

Bibliographic Details
Main Author:	Баинов Д. Д. Даши Дамбаевич
Corporate Author:	Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ)
Other Authors:	Кривобоков В. П. Валерий Павлович (727)
Summary:	Защищена 25.06.2013 г.
Language:	Russian
Published:	Томск, 2013
Subjects:	осаждение тонкие пленки оптические свойства моделирование расчет технология промышленные установки плазменные установки плазма магнетронный разряд ионные пучки тонкопленочные покрытия диссертации труды учёных ТПУ
Format:	Book
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=241130

Similar Items